產(chǎn)品簡介
SGC-10薄膜測厚儀，適用于介質(zhì)，半導(dǎo)體，薄膜濾波器和液晶等薄膜和涂層的厚度測量。該薄膜測厚儀，是我公司與美國new-span公司合作研制的，采用new-span公司的薄膜測厚技術(shù)，基于白光干涉的原理來測定薄膜的厚度和光學(xué)常數(shù)（折射率n，消光系數(shù)k）。它通過分析薄膜表面的反射光和薄膜與基底界面的反射光相干形成的反射譜，用相應(yīng)的軟件來擬合運(yùn)算，得到單層或多層膜系各層的厚度d，折射率n，消光系數(shù)k。該設(shè)備關(guān)鍵部件均為國外進(jìn)口，也可根據(jù)客戶需要。
參數(shù)和性能指標(biāo)
厚度范圍： 20nm-50um（只測膜厚），100nm-10um（同時(shí)測量膜厚和光學(xué)常數(shù)n，k）根據(jù)薄膜材料的種類，其范圍有所不同。
準(zhǔn)確度： <1nm或<0.5%
重復(fù)性： 0.1nm
波長范圍： 380nm-1000nm
可測層數(shù)： 1-4層
樣品尺寸： 樣品鍍膜區(qū)直徑>1.2mm
測量速度： 5s-60s
光斑直徑： 1.2mm-10mm可調(diào)
樣品臺(tái)：290mm160mm
光源：長壽命溴鎢燈（2000h）
光纖：純石英寬譜光纖
探測器：進(jìn)口光纖光譜儀
電源：AC100V-240V，50HZ-60HZ
重量：18kg
尺寸：300mm300mm350mm
產(chǎn)品功能適用性
該儀器適用于多種介質(zhì)，半導(dǎo)體，薄膜濾波器和液晶等薄膜和涂層的厚度測量。
*的軟件功能
界面友好，操作簡便，用戶點(diǎn)擊幾次鼠標(biāo)就可以完成測量
可方便的保存、讀取測量得到的反射譜數(shù)據(jù)
數(shù)據(jù)處理功能*。可同時(shí)測量多達(dá)四層的薄膜的反射率數(shù)據(jù)。一次測量即可得到四層薄膜分別的厚度和光學(xué)常數(shù)等數(shù)據(jù)。
材料庫中包含了大量常見的材料的光學(xué)常數(shù)的數(shù)據(jù)。用戶可以很方便地自己擴(kuò)充材料的數(shù)據(jù)庫。
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