日本電測EX-731型熒光X-Ray鍍層測厚儀
規格參數：
測量臺操作方式 | 手動 | 自動 | ||
測量行程 | 單位(mm) | 170 × 110 | 300 × 280 | |
移動量 | X(mm) | 70 | 80 | |
Y(mm) | 70 | 60 | ||
Z(mm) | 80（測定物高zui大150） | 50 | ||
測定物高（zui大） | 80（150可選） | 50 | ||
外形(mm) | 600(W)×465(D)×730(H) | |||
重量(kg) | 79 | 85 | ||
測量臺載重(kg) | 3 | 1 | ||
電源 | AC200V±10V | |||
X線源 | 油浸式小型微焦點Ｘ線管 |
照射方式 | 上面垂直照射方式 |
検出器 | 比例計數管 |
準直孔 | 5種類(自動切換式) |
樣品觀察 | CCD鏡頭 |
測定対象 | 原子番號22(Ti)～82(Pb) |
濾波器 | (Co、Ni)自動切換 |
厚度測定范圍 | 原子番號22～24：0.2～約20μm |
検量線 | 検量線自動作成 |
測量功能 | 単層膜厚測定 |
測量模式 | 自動測量 |
自動測量臺功能 | 測定位置(X-Y-Z) 測定位置確認功能 |
數據処理機能 | 統計量表示：平均、標準偏差、zui大、zui小、方差、Cp、Cpk |
可測量厚度元素種類： |
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