產品介紹：

高精度的差分長度和角度測量

傳感器頭由不銹鋼制成

長期穩定性高

差分測量使環境影響更小化

SIOS的超穩定差動激光干涉儀SP 5000 DI具有的熱穩定性，可用于研究和開發中的長期測量，例如材料測試。得益于其設計，借助外部參考光束，可以將測量系統放置在距測量位置更長的距離處，而不會明顯影響測量的分辨率或穩定性。干涉儀的長度分辨率為5 pm，這歸功于測量系統的微分原理，即使在正常實驗室條件下也可以實現。

如果使用傾斜不變反射器進行長度測量，則測量范圍為幾米。該系統采用模塊化設計，因此可以適應特定的測量任務。可以簡單且長期穩定地進行調整。在SP 5000 DI干涉儀的基礎上構建多軸系統還可以進行多坐標測量。

產品參數：

位移測量范圍：5 m

位移分辨率：5 pm

角度測量范圍

帶反射器：±°

帶平面鏡（建議距離≤2m）：±弧分

光束距離（標準）：21 mm

波長： nm

HeNe激光器的頻率穩定性（預熱時間之后）：2·10-8

HeNe激光器的預熱時間：10 20 min

工作溫度范圍：15 30°C