nSCULPTOR是用于納米結(jié)構(gòu)加工的3D激光光刻系統(tǒng)，基于多光子聚合（mPP）技術(shù)，適用于市場上常見光阻材料。可以加工和生產(chǎn)納米精度和分辨率的三維結(jié)構(gòu)。系統(tǒng)可以有效配套市場上常見的光刻膠，實現(xiàn)納米精度和分辨率的模型制作以及各種三維立體結(jié)構(gòu)加工。系統(tǒng)將整個加工過程整合到一起，包括3D模型的創(chuàng)建和制備，激光直寫，后期處理。

產(chǎn)品特點：

· 一體化解決方案

· 100nm-10um分辨率

· 復(fù)雜3D物體

· 不同的聚合物

· 占地面積小

產(chǎn)品應(yīng)用：

· 納米光子器件（3D光子晶體）

· 微流控

· 微光學器件（透鏡，光纖結(jié)構(gòu)）

· 微型機械

· 微型光機電系統(tǒng)（MOEMS）

· 生物醫(yī)學

多光子聚合3D納米光刻機是一套基于多光子聚合(mPP)技術(shù)專業(yè)為制備微納結(jié)構(gòu)而設(shè)計的3D激光光刻系統(tǒng)。系統(tǒng)可以有效配套市場上常見的光刻膠，實現(xiàn)納米精度和分辨率的模型制作以及各種三維立體結(jié)構(gòu)加工。