產(chǎn)品介紹：

快速，精確，準(zhǔn)確地測量小樣本和大樣本

315毫米x 315毫米大掃描區(qū)域

用戶友好的概念

復(fù)雜的分析和自動(dòng)化軟件

CT 300是一種非接觸輪廓儀，具有315 mm的x，y運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)。它可以處理12英寸的晶圓或其他大型基板和零件。使用彩色白光傳感器和高達(dá)20 kHz的數(shù)據(jù)采集速率，可以將檢查時(shí)間減至最少。共聚焦顯微鏡和3D白光干涉儀傳感器在低至 nm的z方向上提供了的分辨率。利用多傳感器技術(shù)，可以同時(shí)安裝多個(gè)傳感器頭，包括用于測量晶圓厚度的紅外干涉儀。

典型的應(yīng)用是印刷過程的分析和質(zhì)量控制，例如PV太陽能電池，基板材料的進(jìn)料檢查，各種基板上的厚膜測量，漿料倉庫，環(huán)氧膜，點(diǎn)或其他印刷和印刷的體積測量。分配的功能。 高輪廓物體的幾何形狀和位置測量（如焊料凸塊，微透鏡和MEMS器件）以及平面度和共面性分析是其他受歡迎的應(yīng)用。由于CT 300在整個(gè)行程中保持高精度，因此可以快速而精確地檢查較大的零件，例如晶片，墊片或玻璃鏡片。