用途

此為高真空傳輸閘閥使用于半導(dǎo)體,平板顯示器, 光伏, LED二極管等產(chǎn)業(yè).

配裝于真空腔體側(cè), 兩個(gè)真空腔(傳輸腔/制程腔)或大氣與真空腔(制程腔)中間,

作為生產(chǎn)線(xiàn)基板或載板傳輸?shù)拈l口.

特性

• L-MOTION 軌跡動(dòng)作,在真空的空間中,無(wú)金屬與滑動(dòng)部件接觸,不會(huì)產(chǎn)生金屬微粒

• 簡(jiǎn)化部品的結(jié)構(gòu), 使得產(chǎn)品更精簡(jiǎn)與節(jié)省空間

• 垂直的閘板封密表面, 降低外部異物污染的風(fēng)險(xiǎn)

• 標(biāo)準(zhǔn)堅(jiān)實(shí)的規(guī)格與免維修的產(chǎn)品, 可保證 100萬(wàn)次的壽命

• 標(biāo)準(zhǔn)閘板封密材料為O型圈, 可節(jié)省維修的成本

規(guī)格

高真空傳輸閘閥, 選用驅(qū)動(dòng)器的型式時(shí), 依閥門(mén)開(kāi)口與規(guī)格(溫度/真空壓)而定

V TEX 將依客戶(hù)使用的需求條件提出驅(qū)動(dòng)部的型式

< 閥門(mén)驅(qū)動(dòng)部型式 >

RollCam Type: 單凸輪軸式

Twin-RollCam Type: 雙凸輪軸式

Multi-rollcam Type: 復(fù)合凸輪軸式

Boxer Type: 往復(fù)式

Roll-to-Roll Process type: 卷帶式

<< 對(duì)應(yīng)型式與空間壓力的匹配>>