巖田無(wú)油渦旋式真空泵

1、巖田無(wú)油渦旋真空泵不會(huì)污染真空管路和腔體，也不會(huì)造成泵體周圍的環(huán)境污染

2、iwata無(wú)油渦旋真空泵低振動(dòng)、低噪音，性能穩(wěn)定

3、無(wú)油渦旋真空泵不使用油和冷卻水，可以在大氣壓附近連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)，操作簡(jiǎn)單

4、巖田無(wú)油渦旋泵極限真空低，應(yīng)用廣泛

巖田無(wú)油渦旋真空泵應(yīng)用范圍

電子加速器，同步輻射光速線真空抽氣

渦輪分子泵，羅茨泵等機(jī)械泵的預(yù)抽真空

真空固定

真空搬運(yùn)

真空成型

真空泄漏檢測(cè)

真空脫氣

真空干燥

冷凝泵再生

濺射裝置

曝光裝置

真空鍍膜

分析儀器

回收裝置

液晶注入、封裝裝置