X射線和β射線法是無接觸無損測量，測量范圍較小，X射線法可測極薄鍍層、雙鍍層、合金鍍層。β射線法適合鍍層和底材原子序號大于3的鍍層測量。電容法僅在薄導電體的絕緣覆層測厚時采用。

　　Ux-720高分辨率CCD

　　260萬像素的高清CCD攝像頭，可有效的實時觀察測試區域狀況，并拍下物料照片，作為檢測報告的組成部分。

　　Ux-720光管

　　功能：產生X射線激發樣品，使激發的樣品中的每一種元素放射出二次X射線。

　　使用時間：壽命大于萬小時

　　電 壓: 0 ~ 50 kV

　　功率: 50 W

　　靶 材：Mo

　　Be窗厚度：400um

　　Ux-720探測系統

　　功能：對樣品特征X射線進行探測，將采集來的信號進行數據處理，并將處理結果傳輸給計算機。

　　類型：Si-PIN X-123(美國)

　　Be窗 1mil()

　　分辨率：145±5eV

　　系統峰背比：≥ 6200/1

　　能量響應范圍：1keV — 40keV

　　推薦計數率：5000cps