RoHS儀器是專門用于測量電子電器設備中是否含有以下六類有害物質的儀器·原理是利用X射線檢測ROHS標準規定中的元素的含量。

　　rohs分析儀包含了氣象色譜(GC)、液相色譜（HPLC）、離子色譜（IC）、制備液相色譜、薄層色譜（TLC/TLCS）、毛細管電泳/電色譜（CE/CEC)、凝膠色譜（GPC）、超臨界流體色譜（SFC）、高速逆流色譜等儀器設備。

　　質譜類包括氣質聯用（GC-MS）、液質聯用（LC-MS）、等離子體質譜、ICP-MS）、氣體質譜、生物質譜、無機質譜儀（Inorganic-MASS）、有機質譜儀（Organic-MASS）、其他質譜、核磁共振儀、電子順磁共振波譜（ESR）、能譜儀、衍射儀、激光光散射儀、飛行時間質譜、氦質譜檢漏儀等。

　　電化學類分析儀包括自動電位滴定儀、電化學工作站、電導率儀、溴指數儀、電泳儀、電位分析儀、離子測定儀、、極譜儀、庫侖儀、ORP測定儀等。

　　元素類分析儀包括ROHS指令分析儀、鹵素分析儀、氣體元素分析儀、材料分析儀、金屬元素分析儀、定氮儀、測汞儀、碳硫分析儀、硫氮儀、甲醛/氨測定儀、氧分析儀、碳氫儀、測氡儀、碳硅分析儀等。

　　ROHS檢測儀可準確檢測鉛、汞、鎘、六價鉻 醚等有害重金屬物質，廣泛應用于電子產品生產、玩具制造、五金制造、海關、質檢機構等領域。

　　可用RoHS檢測儀GCMS測試室內有毒物質，但是這個成本較高。一般用紫外分光溫度計測試分析甲醛含量是否超標。