RoHS儀器是專門用于測量電子電器設備中是否含有以下六類有害物質的儀器·原理是利用X射線檢測ROHS標準規定中的元素的含量。

　　RoHS是由歐盟立法制定的一項強制性標準，主要用于規范電子電氣產品的材料及工藝標準，目的在于消除電子電氣產品中的鉛、汞、鎘、六價鉻、和醚共6項物質。

　　RoHS檢測儀目前市場上常見的類型是X射線熒光分析儀，又分為能量色散型和波長色散型，能量色散型因其技術原理及結構比波長色散型簡單，現市場上比較常見，其技術原理：

　　特征X射線

　　放射性同位素源或X射線發生器放出的X射線或Γ射線與樣品中元素的原子相互作用，逐出原子內層電子。當外層電子補充內層電子時，會放射該原子所固有能量的X射線-特征X射線。