ROHS檢測儀就是X射線熒光光譜儀，其分析原理也就是X射線熒光光譜儀的分析原理。X射線熒光光譜儀通常可分為兩大類，波長色散X射線熒光光譜儀(WDXRF)和能量色散X射線熒光光譜儀(EDXRF)，波長色散光譜儀主要部件包括激發(fā)源、分光晶體和測角儀、探測器等，而能量色散光譜儀則只需激發(fā)源和探測器和相關電子與控制部件，相對簡單。

　　RoHS檢測儀目前市場上常見的類型是X射線熒光分析儀，又分為能量色散型和波長色散型，能量色散型因其技術原理及結構比波長色散型簡單，現(xiàn)市場上比較常見，其技術原理：

　　特征X射線

　　放射性同位素源或X射線發(fā)生器放出的X射線或Γ射線與樣品中元素的原子相互作用，逐出原子內層電子。當外層電子補充內層電子時，會放射該原子所固有能量的X射線-特征X射線。

　　ROHS檢測儀可準確檢測鉛、汞、鎘、六價鉻 醚等有害重金屬物質，廣泛應用于電子產品生產、玩具制造、五金制造、海關、質檢機構等領域。

　　可用RoHS檢測儀GCMS測試室內有毒物質，但是這個成本較高。一般用紫外分光溫度計測試分析甲醛含量是否超標。