臺式紅外線燈管加熱爐MILA-5000系列

溫度升溫速度快，精度高

隨著半導體制造工藝朝著高密度，高集成方向的迅速發展，科技研發人員將對RTPRapid Thermal Processing的加熱技術更加關注。MILA-5000系列紅外線加熱爐具有快速加熱和快速冷卻的功能，無環境污染等特長，并同高精的溫度控制器組合為一體。具有價格低，體積小，性能高等特點。對于記憶材料和強導電體相關的RTP研究工作，MILA-5000紅外線加熱爐將提供更廣泛的測量領域。

●用途

強誘導體薄膜的結晶化退火
注入離子后的擴散退火
半導體材料的燒成與退火條件研究
玻璃基板的均熱退火
熱循環試驗與熱沖擊試驗
升溫脫離試驗與觸媒試驗

●特長

50/sec的快速加溫
式樣在保護管內加熱，所以氣氛可選擇真空，各種氣體，流動氣體
式樣溫度與程序設定溫度同時顯示，可完成精密的溫度控制

●技術指標