Newport 精密緊湊型電動(dòng)線性位移臺

VP-25X 系列采用緊湊型封裝鋁制機(jī)身，具有 25 mm 行程、出色的 MIM 和位置穩(wěn)定性。類似于其他系列的線性位移臺，VP-25X 還具有循環(huán)滾珠軸承、無側(cè)隙滾珠絲杠和線性鋼尺。應(yīng)用包括：光纖對準(zhǔn)、生物醫(yī)學(xué)、半導(dǎo)體以及高精度測試和測量。

• 易于進(jìn)行 XY 和 XYZ 配置
• 靈敏度高，10 nm 增量運(yùn)動(dòng)
• 厚度薄、結(jié)構(gòu)緊湊且重量輕
• 便捷的手動(dòng)調(diào)節(jié)旋鈕
• 內(nèi)置線性編碼器，可實(shí)現(xiàn)高度可重復(fù)且精確的運(yùn)動(dòng)
• 即插即用 - ESP 兼容

  Newport 精密緊湊型電動(dòng)線性位移臺技術(shù)參數(shù)

• 電動(dòng)軸

  X

• 行程范圍

  25 mm

• 大速度

  25 mm/s

• 小位移增量

  0.10 µm

• 中心負(fù)載

  60 N

• 軸向負(fù)載 (+Cx)

  40 N

• 逆軸向負(fù)載 (-Cx)

  -40 N

• 精度，典型值

  ±0.4 µm

• 精度，保證值

  ±1.0 µm

• 雙向重復(fù)精度，典型值

  ±0.06 µm

• 雙向重復(fù)精度，保證值

  ±0.10 µm

• 俯仰，典型值

  ±22 µrad

• 俯仰，保證值

  ±50 µrad

• 俯仰順應(yīng)性

  20 µrad/Nm  

• 偏擺，典型值

  ±17 µrad

• 偏擺，保證值

  ±50 µrad

• 偏擺順應(yīng)性

  30 µrad/Nm  

• 滾轉(zhuǎn)順應(yīng)性

  20 µrad/Nm  

• 原點(diǎn)重復(fù)精度

  ±0.1 µm

• 電纜長度

  1.5 m  

• 端口類型

  DB25 Male

• 螺紋類型

  M4 and M6

• 重量

  1.5 kg  

• MTBF

  20,000 h (25% load, 30% duty cycle)

• RoHS

  Compliant

• 兼容的探頭

  SMC100CC

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