XM 超精密線性電機平移臺可提供持續(xù)、可靠的動力性能，運動精度可以達到 1 nm。如此*的定位能力使其成為各種要求苛刻、突破性應用的理想選擇。性能超高，小增量運動為 1 nm，非接觸直接驅動系統(tǒng)，精度超高、動態(tài)性能好且操作可靠，亞納米級高精度玻璃標度編碼器，重復精度為 80 nm，超大型無鐵心高效率線性電機可大限度地減少發(fā)熱，抗蠕變交叉滾子軸承可確保無波紋運動，可選花崗巖底座可確保超平穩(wěn)安裝條件以實現(xiàn)超好性能。XM 超精密線性電機平移臺主要特征：適用于激光加工應用，3軸超精密，可以通過命令控制 1 nm 位移步長，超精密設計和 Heidenhain 光柵尺使 XM 線性平移臺系列能夠在受控環(huán)境中通過的命令控制 1 nm MIM。創(chuàng)新的中心驅動、無鐵、直接驅動線性電機，配套的抗蠕變交叉滾子軸承可實現(xiàn)超高精密控制，面向XY 組件的 T 形托架設計，具有超表面平整度的花崗巖底座，微定位校準服務，用于超可重復移動的高精密線性玻璃標尺，通過精密制造實現(xiàn)超高性能，節(jié)省空間的高可靠性設計，免費提供計量報告。配件：Granite 底座，Granite嚴格的平面度公差和超高硬度使之成為XM系列超精密直線電機位移臺的補充選項。
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