STACIS初旨在隔離高級半導體工廠中的微光刻,計量學和檢查設備,如今已成為嘈雜環(huán)境中敏感儀器的行業(yè)解決方案,包括但不限于半導體工廠,故障分析實驗室,納米技術研究,納米制造設施,以及材料研究。
STACIS III包括一個經過改進的數(shù)字控制器DC-2020。借助新的雙核處理器和以太網以及前后面板上的USB串行端口,此新的高級控制系統(tǒng)為用戶提供了現(xiàn)代且易于使用的圖形用戶界面(GUI)。STACIS在成功安裝了數(shù)百套設備,是對振動敏感的儀器的li 想隔振系統(tǒng)。
比空氣隔離器堅固數(shù)百倍,STACIS不受空氣隔離系統(tǒng)的限制。沒有“軟"懸架,并且與主動空氣系統(tǒng)不同,STACIS可以放置在帶有內部主動空氣隔離系統(tǒng)的工具下方,并且兩個系統(tǒng)都經過充分優(yōu)化。
的串行設計和高強度壓電技術可實現(xiàn)
從0.6 Hz到150 Hz的寬有源帶寬,以及真正的主動隔振功能,從2 Hz開始可降低90%的振動。
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