Newport 新產品 GTS70V 垂直線性位移臺 70mm長行程，GTS 系列

產品優勢：與其他垂直位移臺相比，可實現較長的行程范圍（70mm），的速度以及的準確度和可重復性。任何方向都可無障礙接近負載。

產品介紹：

GTS70V是一種緊湊、行程長的平臺式垂直工作臺，結合了的軌跡精度和0.1μm小增量運動的能力以及70 mm的行程范圍。其特點包括：一個垂直導向系統，由配對的抗蠕動交叉滾柱軸承組成，可實現、無波紋運動；一個折疊直流電機，具有地面和低摩擦絲杠，設計用于提供超平滑運動；一個線性編碼器，可實現。GTS70V即使在重載情況下也不會倒車，從而提供位置穩定性。電機和絲杠之間的減速帶增加了可用的輸出扭矩和伺服回路靈敏度的魯棒性。GTS70V適用于半導體晶圓檢查、掃描、顯微鏡、激光加工、自動設備校準、計量、質量控制和需要70 mm長行程垂直運動的應用。

GTS70V是一個緊湊，長程，的垂直線性平臺，結合了軌跡精度和能力，0.1μm小增量和70mm行程。特點包括：一個垂直導向系統，由配對的抗蠕變交叉滾子軸承，導致，無波動的運動，一個折疊直流電機與地面和低摩擦絲杠設計提供超光滑的運動和的線性編碼器。GTS70V即使在負載很重的情況下也不會反向驅動，提供了的位置穩定性。電機和絲杠之間的減速帶增加了可用的輸出扭矩和對伺服回路靈敏度的魯棒性。GTS70V適用于半導體晶圓檢測、掃描、顯微、激光加工、自動設備校準、計量、質量控制以及需要長行程垂直運動70毫米的應用。

產品特點：

? 30 mm or 70 mm of precision vertical travel in a compact unit

? Unobstructed access to the payload from any direction

? High sensitivity, excellent repeatability and high accuracy motion from an integrated linear or rotary encoder

產品的技術參數：

• 行程范圍

  70 mm

• 小位移增量

  0.10 µm

• 速度

  10 mm/s

• 中心負載

  40 N

• 精度，保證值

  ±1.0µm

• 雙向重復精度，保證值

  ±0.2µm

• 俯仰，保證值

  ±80 µrad

• 滾轉，保證值

  ±80 µrad

• 直線度典型值（保證值）

  ±5.0(na) µm

• 重量

  3.3 kg

• MTBF

  20,000 hours at 25% load and 30% duty cycle

產品設計細則：

產品的負載特性及剛性：

兼容產品列表：

1、型號：XPS-D88

產品描述：軸通用控制器/驅動器，以太網

2、型號：XPS-DRV11

產品描述：Motion Controller Card，Universal，Stepper，DC，ａnd Linear Motors

3、型號：XPS-DRV01

產品描述：PWM驅動模塊，用于直流電刷和步進電機，3A/48V

4、型號：ESP301-1G

產品描述：ESP301電機控制器/驅動器，單軸，GPIB，USB，RS232

5、型號：SMC100CC

產品描述：單軸直流電機控制器/驅動器

配件產品列表：

1、型號：MMCABLE-REG

產品描述：內聯調節器，5VDC，適用于5m或更長的MMCABLE

2、型號：M-FK-BLX

產品描述：L型艾倫內六角扳手組合，尺寸：1.5、2、2.5、3、4、5、6、8、10mm，公制

產品尺寸圖，可參考：

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