測量范圍：

X向行程：200㎜ 圓工作臺直徑：φ213㎜

Y向行程：100㎜ 平工作臺尺寸（㎜）：260×270

測角目鏡角度分劃范圍：360° 頂針間的夾緊長度：700㎜

螺紋輪廓目鏡角度分劃范圍：±7° 頂針間能容納的直徑：φ100㎜

圓工作臺角度分劃范圍：0°~360° 高頂針架夾緊長度：200㎜

圓分度頭角度分劃范圍：0°~360° 高頂針架能容納的直徑：φ250㎜

主顯微鏡立柱的傾斜范圍：±12° 干涉狹縫旋轉范圍：±90°

分度值：X、Y向分度值：0.0002㎜ 圓工作臺角度分度值：30″

測角目鏡角度分度值:1′ 圓分度頭角度分度值：1′

輪廓目鏡角度分度值：±12 主顯微鏡立柱傾斜角度分度值：30′

測量準確度（被測件與儀器溫度差別不大于0.5℃,儀器室內溫度20℃±1℃）：
(1+L/100)μm，其中L為測量長度，單位：㎜

物鏡放大率，工作距離及視場直徑：