
圖1:壓電位移控制-機器視覺實驗平臺

圖2:3維運動控制-自動對準系統

圖3:龍門結構-半導體應用

圖4:直線um級精度位移臺-光學延遲線

圖5:5維控制系統-反射鏡切換裝置

圖6:光纖自動對準平臺
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運動控制系統為半導體、激光制造與測量、生命科學、航空航天、國防科技與應用提供了重要的解決方案






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