電動位移臺選購指南 Feinixs系列產品命名規則 位移控制基本概念
FMSZ系列-步進電機升降臺
詳細規格參數
 | (1) 光柵尺閉環，大承載，高精度 |
| 圖片 |  | |
| 產品分類 | 步進升降臺 | 步進升降臺 |
| 產品型號 | FMSZ115-30 | FMSZ85-20 |
| 外形尺寸 | 115x115x140 | 85x85x85 |
| 臺面尺寸（mm) | 115x115 | 85x85 |
| 光柵尺 | \ | \ |
| 行程（mm) | 30 | 20 |
| 速度（mm/s) | 5 | 10 |
| 負載(Kg） | 5 | 1 |
| 分辨率（um) | 0.625 | 0.625 |
| 最小位移量(um) | 2 | 2 |
| 單向重復定位精度(um) | ±1 | ±1 |
| 雙向重復定位精度(um) | ±2.5 | ±2.5 |
| 定位精度(um) | ±10 | ±10 |
| 直線度(um) | 10 | 10 |
| 平行度(um) | 10 | 10 |
| 偏擺(") | 20 | 20 |
| 俯仰（“） | 20 | 20 |
詳細規格參數
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