-50A

-35B

-40A

-45A

量測範圍

Z方向

±400um

±160um

驅動軸

X方向50mm

X方向 12.5mm

Y方向 4.0mm

分解能

Z方向

0.00016μm/±4μm~0.016μm±400μm

0.0064μm/±160μm/

解析項目

對應規格

JIS-2001,JIS-1994,JIS-1982,ISO-1997,DIN-1990,ASME-1995,ASME-2002,CNOMO規格

粗度測量參數

JIS-2001

Ra,Pa,Pq,Pt,Rz,RzJ,Rzmax,Rq,Rp,Rt,R3z,RSm,Pc,AVH,Hmax,Hmin,Pmr,Rmr,Rk,Rpk,Rvk,Mr1,Mr2,VO,K

Motive

R,Rx,AR,W,Wx,AW,Wte

評價曲線

斷面曲線、粗度曲線、ISO13565特殊粗度曲線、粗度MOTIVE、波紋MOTIVE、包絡波紋曲線

特性圖表

負荷曲線、振幅分布曲線

濾波

濾波方式

高斯濾波、2RC濾波（位相補償型）、2RC濾波（位相非補償形）

截止值

入c: 0.08、0.25、0.8、2.5、8、25mm

入s:0.25、08.、2.5、8、25μm

入c: 0.08、0.25、0.8、2.5mm

入s:2.5、8μm

入c: 0.08、0.25、0.8mm

入s:2.5μm

評價長度

0.1～50mm(0.1mm單位)

0.4～12.5mm(0.1mm單位)

0.4～4.0mm(0.1mm單位)

驅動速度

0.15～1.5mm/s

0.6mm/s

0.3mm/s

操作

動作方式

通用型

標準型

退避型

橫向測量型

感應方式

差動變壓

差動電感（變位型）

測量力

0.75mN以下

4mN以下

測針

先端：2μmR、60°圓錐、金鋼石

先端：5μmR、90°圓錐、金鋼石、Skid式：藍寶石、32mmR(滑動方向)

其它

電源

內置充電式電源（AC變壓器充電）、充電時間：3小時、消費電力：約30VA（充滿電可測600次）

外觀尺寸、質量

FLEX數據處理器：132（W）*58(D)*214(H)mm,約900g

標準付屬品

標準片（E-MC-S24B）,AC變壓器，手提帶，記錄紙（E-CH-S25A），使用說明書

傳感器（E-DT-SE19A）

測針（DM43801）

驅動部連接線（E-SC-S517A）

傳感器（E-DT-SM10A）

后側調整器（E-WJ-S64A）

驅動部連接線（E-SC-S518A）

傳感器（E-DT-SM39A）

標準片盒（E-WJ-S558A）

V型臺（E-WJ-S536A）

驅動部線（E-SC-S519A）