IoN 40等離子清洗機是為實驗室和生產領域涉及的全功能的等離子表面處理設備。該設備外觀簡潔、高度集成化，可應用在半導體、醫療診斷、光學、電子等領域對各種材料的表面進行去膠、清潔、化學修飾或涂層沉積。

規格參數
工作腔室材料： 鋁
容積： 36.5 升
內部尺寸： 229 x 330 x 483 mm
　　　　　　　
可選電極
● 可抽卸的多層電極板
● 垂直電極
● 3層溫控電極
● 低微粒電極
● 次級等離子體電極

工藝氣體
質量流量控制計： 最多至6路氣體
工藝壓力： 200-2000 mTorr(取決于真空泵和氣體流量)
抽真空時間： 大約1分鐘 (取決于真空泵)
放氣： 可調
射頻發生器： 風冷13.56MHz,600 瓦(標準配置)
供給需求電源：　　　　　 220V 單相,2.3 KW, 50Hz
工藝氣體： 輸入壓力 1-2 bar
吹掃氣體： 輸入壓力 1-2 bar
壓縮空氣： 輸入壓力 4-6 bar
尺寸： 寬/高/深 775 x 723 x 781 mm（不含泵）
重量： 約157千克（不含泵）

可選項
● 壓力控制器
● 1%精度的真空規
● 指示燈柱
● 條形碼閱讀器
● 工藝氣體切換器
● 光譜終點檢測器
● 300 瓦13.56 MHz射頻發生器
● 水冷機
● 單體處理裝置
● 真空泵（油泵或干泵）
● 氣相MFC

功能特性：
● 靈活的電極設計保證了工藝的均勻性
● 使用Windows系統的工業計算機控制
● 觸摸屏操作，圖形用戶界面（GUI）
● 菜單驅動式工藝過程
● 繪圖和自診斷功能
● 以太網通訊功能
● 節能模式
● 工藝編輯軟件提供了快速靈活的步驟控制功能
● 安裝簡單快捷