Axia ChemiSEM 智能型鎢燈絲掃描電鏡

【特點(diǎn)與應(yīng)用】
實(shí)時(shí)成分信息：同步掃描獲取多種信號(hào)時(shí)執(zhí)行能譜分析，實(shí)時(shí)檢測(cè)形貌與元素信息；
成像平臺(tái)即時(shí)可用：只需關(guān)注數(shù)據(jù)采集，不必憂慮電鏡條件設(shè)置；
更快獲得數(shù)據(jù)：多種成像和掃描策略，優(yōu)化圖像采集效果并提升系統(tǒng)處理能力；
靈活的樣品臺(tái)設(shè)計(jì)：全開(kāi)門式設(shè)計(jì)，大樣品可輕松加載到樣品倉(cāng)內(nèi)，樣品10 kg；
的成像性能：提供低真空模式和電子束減速模式用于消除荷電效應(yīng)。

【技術(shù)參數(shù)】
發(fā)射源：預(yù)對(duì)中鎢燈絲

分辨率：
高真空成像
3.0 nm@ 30 kV（SE）；8.0 nm@ 3 kV（SE）
高真空下減速模式
7.0 nm@ 3 kV（BSE）
低真空成像
3.0 nm@ 30 kV（SE）；4.0 nm@ 3 kV（BSE）；10 nm@ 3 kV（SE）

放大倍數(shù)：5 ~ 1,000,000×（寶麗來(lái)相紙放大）

加速電壓范圍：200 V ~ 30 kV

探針電流范圍：可達(dá)到2 μA，連續(xù)可調(diào)

低真空范圍：高達(dá)150 Pa

X-Ray工作距離：10 mm，EDS檢出角：35°

樣品室：內(nèi)寬280 mm，端口10個(gè)

樣品臺(tái)：五軸全自動(dòng)馬達(dá)驅(qū)動(dòng)
X=120 mm