這款微探針系統micro probe是為材料光學特性和電特性測試設計的納米級微納探針儀器,可以結合顯微鏡,光譜儀等儀器在各種環境條件下現場測試材料電學和光學特性,滿足真空,高溫,氣流,濕度,光照等各種特殊環境應用,內體積僅為100cc.
微探針系統規格參數
尺寸：W70 x L140 x H31.5mm
重量：650~950克
內體積：100cc
適合真空：10^-3mbar(帶旋轉泵時）， 10^-6mbar (帶渦輪分子泵時）
溫度范圍：-40℃~200℃（Peltier stage), RT~1000℃（電阻加熱臺），80K~373K(低溫臺）
探針數量：4個,6個，8個 （可根據電極和應用進行多種探針布局）
微探針系統特點
的探針設計：探針模塊僅僅30x20x20mm,操作非常靈活,在熱擴散引起接觸點偏移的情況下也能保持穩定接觸
壓電驅動：超高穩定性和分辨率的壓電驅動,緊湊設計,滿足微定位要求,分辨率50nm,力 1N(100g),XY行程11mm, Z軸行程4.5mm
探針針尖:所有探頭在探頭模塊內部和/或外部都有彈簧結構。在氣體流動和掃描實驗中也保持穩定接觸, 提供50um&100μm針尖,方便接觸墊較小時選擇。為了更的探測，建議使用可選的探測臂 針尖尺寸越大，樣品夾緊力和耐久性越好。
微探針系統micro probe應用-拉曼光譜,熱諧振頻率測量,光電流測量,TEM樣品測試等
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