納米操縱系統(tǒng)采用納米探針模塊nanoprober為顯微鏡或電鏡下微納操作提供納米級(jí)微操縱方案,非常適合SEM和各種電鏡樣品微操作使用。

　　納米操縱系統(tǒng)布局非常方便,可快速增加或移除納米探針模塊,調(diào)整定位和方向,也可以現(xiàn)場(chǎng)遠(yuǎn)程控制。

　　納米操縱系統(tǒng)可以與各種高分辨率電鏡,SEM匹配使用,采用磁性鏡頭設(shè)計(jì),可與市場(chǎng)上主流掃描電鏡聯(lián)合使用,即使在加速電壓低于0.5kV也能充分施展高分辨率性能。

　　納米操縱系統(tǒng)的安裝非常方便,不需要改造原有的掃描電鏡,幾分鐘即可完成安裝。

納米操縱系統(tǒng)規(guī)格參數(shù)(單個(gè)納米探針模塊規(guī)格)

　　自由度：4個(gè)獨(dú)立的自由度X,Y,Z,R

　　尺寸：主體20.5mm x 21.7x 12.5mm, 機(jī)械臂8.3mm

　　重量：12g

　　定位分辨率：Stepping模式下:60nm(X,Y), 120nm(Z)

　　Scanning模式下：0.02nm(X,Y), 0.1nm(Z)

　　運(yùn)動(dòng)范圍： Stepping模式：20x20mm(XY), +/-180度（R), 41度（Z)

　　Scanning模式：440x250x780nm (XYZ)

　　運(yùn)動(dòng)速度：1.5mm/s (XY), 150mrad/s(Z)

　　力/力矩： 推力0.3N (XY), 升力：0.7mNm(5g) (Z)， hold力: 0.2N (XY)， 0.9mNm(6g) (Z)

　　Tilt 角：55度

　　漂移 lt;1nm /min

　　電學(xué)探針規(guī)格：

　　電壓范圍：+/-100V

　　電流范圍：100mA

　　帶寬：25MHZ

　　電阻：約為3.5歐姆

納米操縱系統(tǒng)各種布局