這款飛秒激光直寫光刻系統(tǒng),laser lithography system是為微納結(jié)構(gòu)光蝕刻而設(shè)計的激光直寫光刻機(jī)。飛秒激光直寫光刻系統(tǒng)基于多光子聚合技術(shù)（multi photon polymerization, mPP),適合市場上的各種光刻膠（photoresists），能夠以納米精度和分辨率微納加工各種三維結(jié)構(gòu),是的激光光刻機(jī).
激光光刻機(jī)3D模型制備
直寫光刻機(jī)直接激光刻劃
激光光刻機(jī)整套系統(tǒng)到貨即可使用
激光光刻機(jī)提供100nm-10um的分辨率
直寫光刻機(jī)超小尺寸
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激光光刻機(jī)3D模型的制備
這套三維光刻機(jī)由激光微加工系統(tǒng)軟件控制，簡單的3D模型通過這種軟件即可生成，對于比較復(fù)雜的3D模型，用戶可以通過Autodesk, AutoCAD等軟件制作，然后導(dǎo)入到三維光刻機(jī)的軟件中，這個軟件支持.stl, dxf等格式的文件用于3D結(jié)構(gòu)的制造。
激光光刻機(jī)激光直接讀寫
這套激光光刻機(jī)由飛秒激光光源，精密的3軸定位臺和掃描鏡組成。首先，待刻錄的圖形通過激光光刻機(jī)精密的激光聚焦系統(tǒng)直接從CAD設(shè)計中導(dǎo)入到光刻膠上。聚合物的雙光子或多光子吸收用于形成高質(zhì)量表面的3D結(jié)構(gòu) lt;100nm的尺寸可自形成結(jié)構(gòu)，200nm-10um尺寸的結(jié)構(gòu)可以控制并重復(fù)，這套激光蝕刻機(jī)提供納米尺度分辨率和對聚合物的廣泛選擇，從而可以適合微納光學(xué),微流體,MEMS,功能表面制作等各種應(yīng)用.
與CAD設(shè)計等同的3D結(jié)構(gòu)形成后，未固化的光刻膠剩余物由有機(jī)溶劑洗掉,這樣只留下蝕刻的微納結(jié)構(gòu)呈現(xiàn)在基板上。
激光光刻機(jī)后續(xù)工序：
在所需的微納結(jié)構(gòu)形成后，它被浸入到幾種不同的溶劑中，以除去蝕刻過程中留下的液態(tài)聚合物。激光光刻機(jī)全部過程都是自動化的，重要參數(shù)可以根據(jù)要求而設(shè)定：浸入時間,溫度等.對于特殊的樣品或加工對象，可以使用紫外光或干燥機(jī)處理。
應(yīng)用
? Nanophotonic devices (3D photonic crystals)激光光刻機(jī)用于納米光子器件（三維光子晶體）
? Microfluidics 三維光刻機(jī)用于微流控芯片
? Microoptics (lenses, structures on an optical fiber tip, etc.)三維光刻機(jī)用于微光學(xué)（光學(xué)端面微結(jié)構(gòu)制作）
? Micromechanics 激光光刻機(jī)制作機(jī)微機(jī)械
? Micro-Opto-Electromechanical Systems (MOEMS) 激光蝕刻機(jī)制作微型光機(jī)電系統(tǒng)
? Biomedicine 激光光刻機(jī),三維光刻機(jī)用于生物醫(yī)學(xué)
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