自動四探針電阻率mapping測試系統是為晶圓電阻率繪圖mapping設計的工業級自動四點探針電阻率測試系統。采用成熟的行業標準，提供快速、準確和可靠的晶圓樣品電阻率分布測量。

　　自動四探針電阻率mapping測試系統四點探針通過電流通過四點探針的外部點并測量內部點的電壓來測量各層半導體晶片的平均電阻,可滿足100mm、150mm、200mm或300mm晶圓測試,自動四探針電阻率mapping測試系統四點探頭設計為免維護且非常易于使用。該自動四探針電阻率mapping測試系統有多種選擇，包括廣泛的熱測試、非標準材料的定制卡盤和幾乎任何應用定制的4點探針。

　　自動四探針電阻率mapping測試系統具有自動化軟件,允許使用電阻率測繪mapping系統進行半自動化或全自動化測試。該軟件設計簡單但功能*，允許用戶輕松設置幾乎任何類型晶圓結構的自動測試程序。基于LabView的軟件具有邏輯結構，可以方便地集成客戶自己的測試和測量設備。該軟件可以安裝在任何具有Windows XP或更高操作系統的計算機上。

　　自動四探針電阻率mapping測試系統特色

　　用戶友好,快速而測量

　　軟件設計操作簡單，具有多種數據處理功能，可實現2D和3D電阻率mapping

　　適合大部分材料和結構測試

　　適合電阻率范圍大,適合sheet resistance測量

　　適合溫度范圍-60℃到300℃

　　可選購1-，5-，9-，25-，49-,121-等多點探針測試型號，也可根據客戶要求訂制

　　可調真空樣品卡盤,適合樣品尺寸5mm~300mm

　　可定制真空或環境控制版本

　　自動四探針電阻率mapping測試系統規格參數

　　適合樣品尺寸：5mm ~300mm

　　電阻測量范圍：1 mΩ/sq. ~ 500MΩ/sq.

　　精度：0.3%

　　測量時間：5秒/點

　　XYZ分辨率 lt;1.5um

　　真空樣品夾盤：多區真空

　　夾盤平整度：+/-13um

　　夾盤擊穿電壓：500V

　　夾盤隔離度 gt;1GW

　　溫度范圍：-60℃~300℃

　　數據輸出：電阻率和電阻值，或者厚度