縫隙式排水溝模具 預制卵形水溝模具 方達 下水溝模具結實 當導流板固定在槽體內時，此遮蔽部優選為位于排水孔的正上方,導流板的分流孔可將槽體內往排水孔的沖洗流體先行予以分流，排水渠模具且大部分的排水孔也被分流板的遮蔽部所遮住。如此一來，可將排水的大噴流流場轉變成數個小噴流流場，而使快速排水清洗槽內的流場更為均勻。因此，不僅可有效消除晶圓粘貼效應，改善晶圓振動現象，更可使排水更為順暢，進而提升排水速度。

可加增加排水速度,提出一種快速排水渠模具，可用以清洗晶圓，此快速排水清洗槽至少包括槽體，其中此槽體包括一個排水孔位于槽體的底部；以及一個使槽體的排出噴流場轉變成均勻流場的導流板，固定在排水孔上方的槽體上。依照本實用新型一優選實施例，上述的導流板至少包括一個分流板。

縫隙式排水溝模具 預制卵形水溝模具 方達 下水溝模具結實