Ⅰ－１ 概要
氧氣濃度測(cè)定記憶體RCM-O是和RCX-S組合后通過(guò)回流爐內(nèi)的軌道和被測(cè)物一起移動(dòng)，每隔一定時(shí)間測(cè)定爐
內(nèi)的氧氣濃度和溫度，記錄了數(shù)據(jù)的耐熱型記憶體出爐后，通過(guò)連接電腦，讀取氧氣濃度，溫度等數(shù)據(jù)的
系統(tǒng)。
Ⅰ－２ 特點(diǎn)
? 可在加熱狀態(tài)下進(jìn)入回流爐，測(cè)定氧氣濃度曲線等的裝置。
? 可以測(cè)試實(shí)際基板位置上的氧氣濃度便于工藝條件做出以及工藝管理。
? 每個(gè)溫區(qū)的氧氣濃度以及溫度曲線都在圖標(biāo)內(nèi)表示。
Ⅰ－３ 使用環(huán)境
本測(cè)定器是通過(guò)通過(guò)回流爐來(lái)測(cè)定氧濃度和溫度的裝置。記憶儲(chǔ)存器的內(nèi)部溫度過(guò)高，可能會(huì)導(dǎo)致IC、電
池等的破裂，使用時(shí)請(qǐng)注意。
測(cè)定時(shí)，記憶儲(chǔ)存器的內(nèi)部溫度不要超過(guò)80℃。
另外，在繼續(xù)使用的時(shí)候，請(qǐng)充分冷卻記憶體后使用。
（內(nèi)部溫度超過(guò)45°的情況下為保護(hù)裝置無(wú)法測(cè)試）
Ⅰ－４－１ 記憶體
項(xiàng)目 規(guī)格
型號(hào) RCX-O ＜氧氣濃度測(cè)定用追加記憶體模組＞
測(cè)量時(shí)間
鎳氫電池 ：約40分
鋰離子電池 ：約80分
取樣時(shí)間
0.05秒、0.1秒、0.2秒、0.5秒、1.0秒、2.0秒、4.0秒、8.0秒
可任意設(shè)定（與記憶體RCM-S同調(diào)）
測(cè)定原理 ジルコニア限界電流式
測(cè)定范圍 50ppm～5000ppm 或 1000ppm～10000ppm 任選一
氧氣
測(cè)定精度
50ppm～1000ppm±5％FS
1000ppm～10000ppm±5％FS
1000ppm～5000ppm±10％FS
電源
由記憶體＜RCM-S>供給
鎳?氫充電池(7號(hào)電池(AAA)×3)
或鋰離子電池 ※
外形尺寸
記憶體：(W)50×(D)336×(H)18（㎜）(RCM-S裝配時(shí))
耐熱外殼：(W)65×(D)370×(H)25（㎜）
重量 約950g 不含托架
※ 測(cè)定溫度范圍和測(cè)量時(shí)間為不考慮耐熱性能的時(shí)間，不代表能在回流爐內(nèi)可供測(cè)定的時(shí)間。
※ 不能使用堿電池和錳電池。
※ 電源購(gòu)買時(shí)請(qǐng)選擇7號(hào)電池或鋰離子電池。