真空除氧器，是一種使水在真空下低溫沸騰，脫除水中含有的氧氣、氮氣、二氧化碳等氣體的設備，由除氧水箱（除氧塔）和真空機組兩大部分組成，除氧水箱可以高位或低位布置，真空泵機組可采用以蒸汽作動力的蒸汽噴射泵，或以循環水為工作介質的水噴射泵。在鍋爐給水處理工藝過程中，除氧是一個非常關鍵的一個環節。氧是給水系統和鍋爐的主要腐蝕性物質，給水中的氧應當迅速得到，否則它會腐蝕鍋爐的給水系統和部件，腐蝕產物氧化鐵會進入鍋內，沉積或附著在鍋爐管壁和受熱面上，形成難溶而傳熱不良的鐵垢，而且腐蝕會造成管道內壁出現點坑，阻力系數增大。管道腐蝕嚴重時，甚至會發生管道爆炸事故。

真空除氧的工作原理是應用亨利定律和道爾頓定律，根據亨利定律可知，在封閉容器中，任何氣體同時存在于水面上，則氣體的溶解度與其自己的分壓力成正比，而且氣體的溶解度僅與其本身的分壓力有關。在一定壓力下，隨著水溫升高，水蒸汽的分壓力增大，而空氣和氧氣的分壓力越來越小。在 100℃時，氧氣的分壓力降低到零，水中的溶解氧也降低到零。當水面上壓力小于大氣壓力時，氧氣的溶解度在較低水溫時也可達到零。這樣，水面上空間氧氣分子被排出，或轉變成其它氣體，從而氧的分壓力為零，水中氧氣就不斷地逸出，達到除氧的效果。