LEXT OLS4100是一款激光掃描顯微鏡，通過非接觸的方式進行樣品表面三維形貌觀察和測量。分辨率達10nm，可以方便快捷地獲取影像，同時配備豐富的測量功能。

的測量

更大的樣品范圍

輕松檢測85° 尖銳角

有尖銳角的樣品（剃刀）

采用了有著高N.A. 的專用物鏡和專用光學系統（能限度發揮405 nm 激光性能），LEXT OLS4100可以地測量一直以來無法測量的有尖銳角的樣品。這有利于粗糙度的測量。

LEXT 專用物鏡

使用專用物鏡時的象差

高度分辨率10 nm，輕松測量微小輪廓

(MPLAPON50XLEXT)

克服反射率的差異

鉆石電鍍工具
物鏡：MPLAPON50XLEXT

OLS4100 采用了雙共焦系統，結合高靈敏度的探測器，那些具有不同反射率材料的樣品，也能在OLS4100 上獲得鮮明的影像。

適用于透明層

多層模式
LEXT OLS4100 全新的多層模式則可以識別多層樣品各層上反射光強度的峰值區域，并將各層設為焦點，這樣即可實現對透明樣品上表面的觀察和測量，而且也可以對多層樣品的各層進行分析和厚度測量。

觀察／測量透明材料的各個層
多層模式可實現對透明樣品的頂部的透明層進行觀察和測量。即使在玻璃基片上覆有一層透明樹脂層，也可測量出各層的形狀和粗糙度以及表面覆膜的厚度。

正確性和重復性

通常表示測量儀器的測量精度的，有2 個指標："正確性"，即測量值與真正值的接近程度，和"重復性"，即多次測量值的偏差程度。OLS4100 是業界同時了"正確性"和"重復性"的激光掃描顯微鏡。

追溯體系

OLS4100 從物鏡制造到成品全部在奧林巴斯工廠內完成，并按照一系列嚴格的標準進行的檢驗并確保產品的質量后方才出廠。

微細粗糙度

使用接觸式表面粗糙度測量儀，無法測量比探針的針尖直徑更細微的表面輪廓。而OLS4100有著微小的激光光斑直徑，所以能夠對微細形狀進行高分辨率的粗糙度測量。

非接觸式測量

使用接觸式表面粗糙度測量儀測量柔軟的樣品時，樣品容易受到探針損傷而變形。另外，帶有粘性的樣品會粘在探針上，無法得到正確的測量結果。而非接觸式的激光顯微鏡OLS4100，不會影響樣品的表面狀態，可以準確的測量樣品的表面粗糙度。

高分子薄膜3D 影像（上）和粗糙度測量結果（左）

柔軟的樣品

帶有粘性的樣品

微米級特征的測量

使用接觸式表面粗糙度測量儀，其探針無法進入微米級的區域，所以不能對這些區域的特征進行測量。而OLS4100可以正確定位，能輕松測量出特定微小區域的粗糙度。

焊線

高畫質影像

清晰鮮明的3D 彩色影像

三種類型的綜合影像

無HDR 的彩色影像
致密的織物、物鏡20x、變焦1x）

有HDR 的彩色影像
（致密的織物、物鏡20x、變焦1x）

算法

穩定測量和成像環境

復合減震機構

為了排除來自外部的影響，穩定測量和成像，OLS4100機座內置了由螺旋彈簧和阻尼橡膠組成的"復合減震機構"以穩定操作環境。所以，可以把OLS4100放在普通的桌子進行測量作業，不需要專用的防震平臺。

直觀的GUI 實現系統化的工作流程

簡易的三步流程

使用LEXTOLS4100，只需將樣品放置在載物臺上之后即可立即開始觀察／測量。由于采用了簡易的三步流程——成像、測量和報表——即使用戶不熟悉激光顯微鏡，也可以快速掌握測量的流程。

始終明白"身在何處"

宏觀圖功能

OLS4100 的宏觀圖功能可以以低倍率顯示大范圍影像，并在宏觀影像上顯示一個矩形觀察標記。該視場可以通過拼圖設置為傳統視場的441 倍。當配合電動六孔物鏡轉換器時，宏觀圖功能可以對載物臺移動和倍率更改實現平滑、便捷的一鍵操作?？梢灶A設齊焦和確定物鏡的中心，并可通過一鍵移動載物臺和調整倍率進行同步。

快速的宏觀圖拼接

掃描大面積區域時有兩種拼接方法可用：獲取實時影像時的手動模式和快速獲取影像時的自動模式。操作非?？焖俸唵巍?D拼接只需一鍵操作即可開始，并且可立即獲得大面積的拼接影像。自動模式下有五級拼接尺寸可用，分別為：3×3、5×5、7×7、9×9和21×21。對于影像上不需要的部分，可以使用簡單的鼠標或控制桿操作手動刪除。

用于簡易3D 成像的智能掃描

自動3D 影像獲取

傳統的3D 掃描需要復雜的設置，這對新手來說非常困難。LEXT OLS4100 采用了全新的智能掃描模式，即使是初次使用的用戶也只需一鍵操作即可快速獲取3D 影像。除了上下限的設置，系統也會根據要獲取的影像自動設置合適的亮度。這讓即使是初次使用的用戶也能獲得的高度測量和優質的影像。

3D 成像

自動亮度控制

平面上的亮度控制

一定高度范圍內的亮度控制。

大大縮短了獲取時間

更快的掃描速度

新的超快模式獲取掃描影像的速度是傳統快速模式的2 倍，約是精細模式的9 倍。因此，對于那些需要非常精細的Z 軸移動和的放大倍率的樣品，該模式就非常地適用，例如對刀具的進行檢測。

相同時間內獲取的影像數量：

實際的掃描時間根據所用倍率和Z 獲取范圍而有所不同。

只在所需區域進行高速獲取

OLS4100 還配備了帶寬掃描模式，用于測量有限的目標區域，測量性能比傳統模式快1/8。

全新的高速拼接模式

從大范圍拼接影像中目標區域

在宏觀圖中，要觀察的區域可以從大范圍的視圖中進行。在自動模式中，通過設置最多625幅影像的矩形拼接尺寸，可以自動生成區域圖，所需的時間大約只需要通常的一半。下一步，在區域圖上所需的影像并立即開始觀察。

拼接區域：方形（21×3）63 片

拼接區域：圓形（3 點）

手動所需的影像區域

在實時模式中，通過在屏幕上跟蹤所需的區域，可以手動選擇要觀察的區域。當觀察的樣品具有不規則的形狀時，該功能非常實用。

快速影像拼接

要使用智能掃描模式獲取影像時，只需一鍵操作即可。由于智能掃描會自動調整Z 軸方向的設置，Z 軸方向的影像獲取可以僅局限在所需的區域，因此可以在進行大范圍大功率觀察時節省很多時間。

智能掃描模式

傳統獲取模式

一鍵操作定制報表

OLS4100 在測量后可使用一鍵操作創建報表，而且使用編輯功能可以定制各個報表模板。將測量結果復制和粘貼到Word 或表格應用程序也非常簡單，就像從數據庫取回所需的影像和報表一樣。

目標的一鍵解決方案

為用戶設計的詳細的向導功能取消了冗長的培訓，讓新手也能快速簡單地進行操作。