LEXT OLS4500是一款集成了激光顯微鏡和探針掃描顯微鏡功能于一體的新型納米檢測顯微鏡，可以實現從50倍到100萬倍的超大范圍的觀察和測量。

OLS4500為您帶來的解決方案

實現納米級觀測的新型顯微鏡。不會丟失鎖定的目標。

電動物鏡轉換器切換倍率和觀察方法

配有涵蓋了低倍觀察到高倍觀察的4種物鏡，并在電動物鏡轉換器上裝配了SPM單元。可以無縫切換倍率和觀察方法，不會丟失觀察對象。此外，該款顯微鏡可以進行納米級觀測。

涵蓋了低倍到高倍觀察，并配有多種觀察方法可以迅速發現觀察對象。

可以完成低倍到高倍的大范圍倍率觀察。不僅如此，*光學技術打造的光學顯微鏡帶來多種觀察方法，可以容易的發現觀察對象。此外，對于光學顯微鏡難以找到的觀察對象，還可以使用激光顯微鏡進行觀察。在激光微分干涉（DIC）觀察中，可以進行納米級微小凹凸的實時觀察。

縮短從放置樣品到獲取影像的工作時間。

放置好樣品后，所有的操作都在1臺裝置上完成。可以迅速，正確的把觀察對象移到SPM顯微鏡下面，所以只要掃描1次就能獲取所需的SPM影像。

一體機的機型，所以無需重新放置樣品只要在1臺裝置上切換倍率、觀察方法就能夠靈活應對新樣品。

OLS4500是把光學顯微鏡、激光顯微鏡、探針顯微鏡融于一體的一體機，所以無需重新放置樣品，即可自由切換3種顯微鏡進行觀察和評價。這3種顯微鏡各自持有優異的性能，所以能夠輸出結果。

OLS4500實現了無縫觀察和測量

【接近】迅速發現觀察對象，在SPM上正確完成觀察

【納米級測量】簡單操作，可以迅速獲得測量結果

新開發的小型SPM測頭， 減少了影像瑕疵

新開發的小型SPM測頭

使用向導功能， 可以觀察時進一步放大探針顯微鏡拍到的影像的所需部分倍率。只要在影像上用鼠標指針設置放大范圍并掃描， 就可以獲取所需的SPM影像。可以自由設置掃描范圍， 所以大幅度提高了觀察和測量的效率。

向導功能在10μm×10μm影像上放大3.5μm×3.5μm范圍

優異的分析功能， 應對各種測量目的

曲率測量（硬盤的傷痕）

OLS4500能夠根據您的測量目的分析在各種測量模式中獲取的影像，并以CSV格式輸出測量結果。OLS4500有以下分析功能。

• 截面形狀分析（曲率測量、夾角測量）
• 粗糙度分析
• 形態分析（面積、表面積、體積、高度、柱狀值、承載比）
• 評價高度測量（線、面積）
• 粒子分析（選項功能）

跟從向導畫面的指示， 可輕松操作的6種SPM測量模式

接觸模式

控制微懸臂與樣品之間作用的排斥力為恒定的同時， 使微懸臂進行靜態掃描， 在影像中呈現樣品的高度。還可以進行彎曲測量。

金屬薄膜

動態模式

使微懸臂在共振頻率附近振動， 并控制Z方向的距離使振幅恒， 從而在影像中呈現樣品高度。特別適用于高分子化合物之類表面柔軟的樣品及有粘性的樣品。

鋁合金表面

相位模式

在動態模式的掃描中， 檢測出微懸臂振動的相位延遲。可以在影像中呈現樣品表面的物性差。

高分子薄膜

電流模式

對樣品施加偏置電壓，檢測出微懸臂與樣品之間的電流并輸出影像。此外，還可以進行I/V測量。

Si電路板上的SiO2圖案樣品。高度影像（左）中顯示為黃色的部分是SiO2。在電流影像（右）中顯示
為藍色（電流不經過的部分）。通過上圖，可以明確電路板中也存在電流不經過的部分。

表面電位模式（KFM）

使用導電性微懸臂并施加交流電壓， 檢測出微懸臂與樣品表面之間作用的靜電， 從而在影像中呈現樣品表面的電位。也稱作KFM（Kelvin Force Microscope）。

磁帶樣品。在電位影像中可以看出數百mV的電位差分布于磁帶表面。這些電位差的分布，可以認為
是磁帶表面的潤滑膜分布不均勻。

磁力模式（MFM）

在相位模式中使用磁化后的微懸臂進行掃描， 檢測出振動的微懸臂的相位延遲， 從而在影像中呈現樣品表面的磁力信息。也稱作MFM（Magnetic Force Microscope）。

硬盤表面樣品。可以觀察到磁力信息。

裝配了激光掃描顯微鏡，靈活應對多種樣品

輕松檢測85°尖銳角

采用了有著高N.A. 的專用物鏡和專用光學系統（能限度發揮405 nm 激光性能），LEXT OLS4500 可以地測量一直以來無法測量的有尖銳角的樣品。

LEXT 專用物鏡

有尖銳角的樣品（剃刀）

高度分辨率10 nm，輕松測量微小輪廓

0.12μm行間距

高度差標準類型B, PTB-5, Institut für Mikroelektronik, Germany, 6 nm高度測量中的檢測

從大范圍拼接影像中目標區域

可用于傳統的線粗糙度測量，也可用于信息量較多的面粗糙度測量

激光顯微鏡的面粗糙度測量（105μm×105μm） 探針顯微鏡的面粗糙度測量（10μm×10μm）

光學顯微鏡的原理和特長

• 明視場觀察 最基本的觀察方法，通過樣品的反射光成像進行觀察
• 微分干涉觀察 給樣品表面的微小凹凸添加明暗對比，使之變為可視的立體影像
• 簡易偏振光觀察 照射偏振光（有著特定振動方向的光線），把樣品的偏光性變為可視影像

激光顯微鏡的原理和特長

可進行亞微米級觀察和測量的激光顯微鏡（LSM:Laser Scanning Microscope)

激光顯微鏡的高精度XY掃描（示例）

探針顯微鏡的原理和特長

可以觀察納米級微觀世界的探針顯微鏡(SPM:Scanning Probe Microscope)

探針顯微鏡的原理

探針顯微鏡（SPM）是通過機械式地用探針在樣品表面移動，檢測出探針與樣品之間產生的力、電的相互作用，同時進行掃描，從而得到樣品影像。探針曲率半徑為10nm左右。典型的探針顯微鏡是原子力顯微鏡（AFM），它通過檢測探針和樣品表面之間作用的引力和張力進行掃描并獲得影像。探針顯微鏡能夠觀察納米級微觀形貌，可以捕捉到樣品細的一面。

通過微懸臂掃描進行納米觀察

SPM傳感器光路圖

OLS4500上采用了光杠桿法——通過高靈敏度檢測出最前端裝有探針的微懸臂的微小彎曲量（位移）來進行觀測的方法。在懸臂的背面反射激光，并用壓電元件驅動Z軸，使激光照射到光電檢測器的位置，從而正確讀取Z方向的微小位移。

多種觀察模式在影像中呈現表面形狀和物性

高分子薄膜

探針顯微鏡擁有多種觀察模式，可以觀察、測量樣品表面的形狀，還可以進行物性分析。OLS4500配有以下模式。

• 接觸模式： 在影像中呈現表面形狀（較硬的表面）
• 動態模式： 在影像中呈現表面形狀（較軟的表面、有粘性的表面）
• 相位模式： 在影像中呈現樣品表面的物性差
• 電流模式*： 檢測出探針和樣品之間的電流并輸出影像
• 表面電位模式（KFM）*： 在影像中呈現樣品表面的電位
• 磁力模式（MFM）*： 在影像中呈現樣品表面的磁性信息
  * 該模式為選項功能。

決定高精細度、高質量影像的微懸臂

探針位于長度約100μm～200μm的薄片狀微懸臂的前端。您可以根據樣品選擇不同的彈簧常數、共振頻率。反復掃描會磨損探針，所以請根據需要定期更換微懸臂探針。