勻膠處理機 TX400-5

整合多項功能：
1 自動勻膠
2 顯影
3 清洗
4 刻蝕
5 去膠
6 水烘烤
7 摻雜
產(chǎn)品簡介：主要用于液體，膠體在材料表面薄膜的形成，適用于硅片，晶片，玻璃，陶瓷等制版表面涂覆工藝。可在科研，教育，生產(chǎn)中應(yīng)用。
主要特點
TX400-5高精度自動滴膠勻膠機旋涂儀 ：
32位工業(yè)計算機芯片組控制。
7英寸觸摸屏顯示，設(shè)定，控制。
TX400-5高精度自動滴膠勻膠機旋涂儀
可設(shè)定存儲25個不同樣片的旋轉(zhuǎn)涂敷工藝過程。
每個涂敷工藝過程可以設(shè)置100步不同的速度狀態(tài)；
運行過程可以暫停，重復(fù)啟動。
循環(huán)轉(zhuǎn)移：次數(shù)：2的16次方= 65536次。

（用途：工藝過程重復(fù)部分的設(shè)定）

TX400-5高精度自動滴膠勻膠機旋涂儀
液晶顯示屏可以實時顯示
直觀顯示轉(zhuǎn)速時間曲線。
第N個涂敷工藝過程
所處工作段
真空吸片狀態(tài)。
設(shè)置時間；及實時運行時間。
設(shè)置速度；及實時速度狀態(tài)。
中英文兩套操作系統(tǒng)供選擇。
人機交互式對話，簡潔，明了。

TX200-5高精度自動滴膠勻膠機旋涂儀 ：
安裝有真空度傳感器，涂敷工作過程電腦實時檢測系統(tǒng)真空度，
必須在安全的真空度下，電機啟動，運行。保障可靠吸片，不飛片。
TX400-5高精度自動滴膠勻膠機旋涂儀 ：
轉(zhuǎn)速精度更高：
300 - 10000 轉(zhuǎn)/分，轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性：+ - 0.1 %
轉(zhuǎn)速10000轉(zhuǎn)/分
TX400-5高精度勻膠機旋涂儀 NPP材質(zhì)工作腔，外表面潔凈光亮。美觀，方便清洗。

TX400-5高精度勻膠機旋涂儀
能準確滴定5種膠體或氣體。(包括膠體，顯影液，定型液，氮氣)
工作腔直徑400mm。可以旋涂基片直徑380mm圓片 或 250mm250mm方片
(圖片)。可用丙酮擦拭。
NPP的化學(xué)穩(wěn)定性優(yōu)異，對大多數(shù)酸、堿、鹽、氧化劑都顯 惰 性。例如在100℃的濃磷酸、鹽酸、40%硫酸及其它們的鹽類溶液中都是穩(wěn)定的。

TX400-5高精度自動滴膠勻膠機旋涂儀 ：技術(shù)參數(shù)：
單相交流電源：220V.50Hz
電機功率：150W
旋轉(zhuǎn)真空吸盤直徑：4英寸（102mm，標準配置）
可選擇配置： 基片直徑10—480mm可接受訂貨。
轉(zhuǎn)數(shù)：300 - 10000 轉(zhuǎn)/分。
整個工藝過程是一條連續(xù)的曲線。可加減速度。可重復(fù)跳轉(zhuǎn)工藝過程。
可準確滴定5種膠體，液體或是氣體。

可設(shè)定時間：1---9999秒。

可選配件
1、85升/分有油真空泵
2、特殊真空吸盤
3、滴膠筒，滴膠針頭。

62mm 吸盤