然后部分有機(jī)廢氣再通過破壞、分解、催化氧化把污染氣體分解為無毒無害無味氣體。采用高能C波段光線強裂污染氣體分子鏈，改變物質(zhì)分子結(jié)構(gòu)，將高分子污染物質(zhì)裂解、氧化成為低分子無害物質(zhì)，如水和二氧化碳等。O3強催化氧化劑進(jìn)行廢氣催化氧化, 可有效地殺滅細(xì)菌，將有毒有害物質(zhì)破壞且改變成為低分子無害物質(zhì)。在C波段激光刺激催化劑涂層產(chǎn)生活性，強化催化氧化作用。在分解過程中產(chǎn)生高能高臭氧UV紫外線光束分解空氣中的氧分子產(chǎn)生游離氧，即活性氧，因游離氧所攜正負(fù)電子不平衡所以需與氧分子結(jié)合，進(jìn)而產(chǎn)生臭氧。UV+O2→O-+O*(活性氧)O+O2→O3(臭氧),臭氧對有機(jī)物具有的氧化作用，對惡臭氣體及其它刺激性異味有的清除效果。O3也為強催化氧化劑進(jìn)行廢氣催化氧化, 裂解惡臭氣體中細(xì)菌的分子鍵，破壞細(xì)菌的核酸（DNA），再通過臭氧進(jìn)行氧化反應(yīng)，達(dá)到脫臭及殺滅菌的目的。