滑閥式油封機(jī)械泵(簡稱滑閥式真空泵或滑閥泵)同旋片泵一樣,也是一種變?nèi)菔綒怏w傳輸泵。滑閥式真空泵的抽氣原理與旋片泵相似,但兩者結(jié)構(gòu)不同。滑閥式真空泵是利用滑閥機(jī)構(gòu)來改變吸氣腔容積的,故稱滑閥泵。
滑閥泵由于其結(jié)構(gòu)特點(diǎn),容量比旋片泵大得多,因此常常被用在大型真空設(shè)備上。滑閥泵有單級滑閥泵和雙級滑閥泵兩種型式。單級泵的極限真空度對小泵≤0.6Pa,對大泵≤1.3Pa(均關(guān)氣鎮(zhèn)),雙級泵的極限真空度≤0.06Pa(關(guān)氣鎮(zhèn))。抽速大于150L/s的滑閥泵多采用單級型式。這種泵可單獨(dú)使用,也可作其它泵的前級泵用。
滑閥泵的結(jié)構(gòu)主要由泵體及在其內(nèi)部作偏心轉(zhuǎn)動的滑閥、半圓形的滑閥導(dǎo)軌、排氣閥、軸等組成
















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