詳細介紹：
siargo ltd FS4000系列氣體流量計是采用微機電系統（MEMS）流量傳感器技術和智能電子控制技術，專為普通氣體流量監測開發的產品。該傳感器能直接測量氣體質量流量，低壓損。適用于凈化空氣或氮氣流量監控，還可用于環境采樣器（如色譜分析儀器等）
siargo ltd FS4003流量傳感器，管道內徑為3mm，成本低測量范圍*到5SLPM；適用于粒子計數器和各類分析儀器。
siargo ltd FS4008流量傳感器，管道內徑為8mm，測量范圍*到50SLPM；可用于麻醉設備、潔凈氣體檢測，如：空氣采樣機，氣體分析儀等
技術參數：
性能參數 | FS4003 | FS4008 | 單位 |
通 徑 | 3 | 8 | mm |
*流量 | 2, 3, 4, 5 | 10, 20, 30, 40, 50 | SLPM |
量程比 | 100:1 | ||
精 度 | ±(1.5+0.2FS) | % | |
重復性 | 0.75 | % | |
零點輸出飄移 | ±30 | mV | |
輸出飄移 | 0.12 | %/°C | |
響應時間 | 100(默認，50，100，200，500，1000可設置) | ||
工作電源 | 8V~ 18V,100mA | ||
輸出方式 | RS232,模擬電壓0.5V~4.5V | ||
顯示方式 | 4位7段LED數碼管顯示，2個指示燈 | ||
指示單位 | 瞬時流量：SLMP;累計流量：SL | ||
顯示分辨率 | 0.001,0.01,0.1可設置 | 0.01,0.1可設置 | SLPM |
*流量壓損 | 100 | 600 | Pa |
*工作壓力 | 0.5 | MPa | |
工作溫度 | -10 °C~ +55°C | ||
存儲溫度 | -20°C~ +65°C | ||
工作濕度 | <>無結冰、無凝露) | %RH | |
機械接口 | BSPT1/4(R1/4),4mm/6mm/8mm快速接頭 | ||
鍵盤 | 三個按鍵 | ||
引出線 | 5針插口，配0.5m電纜 | ||
標準校準氣體 | 空氣(或其他氣體)，20°C，101.325kPa | ||
重量 | 57(帶R1/4,) | ||
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