這種氣路控制系統適用于控制一種到三種氣體的通入，管式爐可以放在它上面，結合科晶集團的管式爐，它可以用于CVD系統及退火爐，用來研究氣體環境對材料的影響。
技術參數
產品名稱 混氣系統3路浮子--GSL-3F 浮子流量計 三種不同量程的浮子流量計，控制精度4%。 A:10-100ml/min B:16-160ml/min C:25-250ml/min 機械壓力表（混氣罐） -0.1-0.15MPa 接頭和氣管 在混氣系統右側安裝三個氣體進口 兩通道氣體流入氣體混合罐，另一個通道不通過氣體混合管。 兩個出口（可連接管式爐）安裝在混氣系統的左側（一路混合氣體和一路單獨的氣體）。 12"長1/4"直徑的聚四氟管及快插接頭。 真空針閥 采用SS304不銹鋼。 安裝在混氣系統的右側。 安裝帶剎車的轉向輪 外形尺寸:600L×600W×650H mm 可選 CVD 或者PECVD 液相氣體發生器 凈重 約75kg 質保期 一年保修，終身技術支持。 特別提示：1、耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內。 2、因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內。 免責聲明 本站產品介紹內容（包含產品圖片、產品描述、技術參數等）僅供參考。可能由于更新不及時和網站不可預知的BUG造成數據與實物的偏差，如果您對參數有異議，或者想了解產品詳細信息，請與本公司銷售人員聯系。本站提供的信息不構成任何要約或承諾，公司會不定期*和修改網站任何信息，怒不另外通知，請您見諒。
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