GPH-DHDO含有兩部分氣體凈化器（一個(gè)用于除氧另一個(gè)用于除水），兩個(gè)凈化器用1/4"不銹鋼管和兩個(gè)針閥連接在一起，可以與任何科晶混氣系統(tǒng)連接。在室溫下，它將氣態(tài)雜質(zhì)降低到ppm級(jí)。它可將99.9%純度的惰性氣體如（氮、氦、氖、氬、氪、和氙）中的H2O、O2、CO2、H2和CO以及非甲烷的烴類化合物降至< 0.1 ppm，以及可將H2中的H2O、O2、CO2降至< 0.1 ppm。此外此設(shè)備帶有加熱功能，可以加熱到300℃對(duì)除氧除水單位進(jìn)行再生，方便長(zhǎng)期循環(huán)使用。
技術(shù)參數(shù)
| 產(chǎn)品名稱 | 惰性氣體凈化系統(tǒng)-GPH-DHDO |
| 產(chǎn)品特點(diǎn) | 輸入：輸入氣體純度要求：<1000 ppm（99.9%）。 輸出：清除雜質(zhì)至<0.1ppm （02≤0.1 ppm H20,-76℃露點(diǎn)溫度）。 304L不銹鋼罐（<10Ra EP）。 再生操作簡(jiǎn)單方便。 內(nèi)置數(shù)字溫度控制器和氣體流量計(jì)控制。 再生后凈化多達(dá)80L惰性氣體。 設(shè)備需在270℃下再生（需使用5N純度的95%N2+5%H2氣體） |
| 電源 | 220V 50Hz 功率：500W（加熱過(guò)程中） |
| 較大壓力輸出 | 0.5MPa |
| 工作溫度 | 室溫-300℃ |
| 氣體泄漏率 | <2×10-9 atm cc/sec He |
| 溫度控制器 | 控溫精度±1℃ |
| 較大氣流 | 400ml/min |
| 外形尺寸 | 445L×400W×190H mm |
| 使用提示 | 您可以購(gòu)買精密質(zhì)子流量計(jì)，輸入氣體更加準(zhǔn)確（圖一）。 此系統(tǒng)可以和本公司所有的管式爐和CVD系統(tǒng)相連接（圖二） 圖一 圖二 |
| 質(zhì)量認(rèn)證 | CE認(rèn)證 |
| 質(zhì)保期 | 一年質(zhì)保期，終生技術(shù)支持。 特別提示：1、耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內(nèi)。 2、因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。 |
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