系列名稱 ULTRA QV 404

型號 QV-U404P1N-D QV-U404T1N-D

貨號 363-518-10Y 363-519-10Y

光學系統 PRO

跟蹤自動對焦裝置 ?

測量范圍 400×400×200mm

分辨力／長度基準 0.01µm／線性編碼器

倍率裝置*1 可編程電動轉臺 1×-2×-6×

影像裝置 黑白CCD

照明裝置 反射照明 鹵素燈

透射照明 鹵素燈

程控環形照明 鹵素燈

測量精度*2 E1 XY軸 (0.25+L/1000)µm

E1 Z軸*3(50mm行程) (1.0+2L/1000)µm

E1 Z軸(全部行程) (1.5+2L/1000)µm

E2 XY平面 (0.5+2L/1000)µm

精度保證光學條件 5倍物鏡 + 中倍管透鏡

畫面內重復精度 3σ=0.2µm

自動聚焦重復精度 σ=0.4µm

精度保證溫度 環境溫度 19～23oC

溫度變化 0.5oC/1H 和 1oC/24H

LAF重復精度*4 ? σ≦0.8µm

工作臺玻璃尺寸 493×551mm

工件質量*5 40kg

主機外觀尺寸 1172×1735×1910mm

主機重量 (含設置臺) 2150kg

空氣壓力 0.4MPa*6

空氣流量 300L/min(ANR)*7

溫度補償功能 自動溫度補償