系列名稱 Hyper QV 302 Hyper QV 404 Hyper QV 606

型號(hào) QV-H302P1L-D QV-H302T1L-D QV-H404P1L-D QV-H404T1L-D QV-H606P1L-D QV-H606T1L-D

貨號(hào) 363-173-10Y 363-177-10Y 363-183-10Y 363-187-10Y 363-193-10Y 363-197-10Y

光學(xué)系統(tǒng) PRO PRO PRO

跟蹤自動(dòng)對(duì)焦裝置

測(cè)量范圍 300×200×200mm 400×400×250mm 600×650×250mm

分辨力／長(zhǎng)度基準(zhǔn) 0.02µm／線性編碼器

倍率裝置*1 可編程電動(dòng)轉(zhuǎn)臺(tái) 1×-2×-6×

影像裝置 黑白CCD

照明裝置*2 反射照明 白色LED

透射照明 白色LED

程控環(huán)形照明 白色LED

測(cè)量精度*3 E1 XY軸 (0.8+2L/1000)µm

E1 Z軸 (1.5+2L/1000)µm

E2 XY平面 (1.4+3L/1000)µm

精度保證光學(xué)條件 2.5倍物鏡(QV-HR2.5X 或 QV-SL2.5X) + 中倍管透鏡

精度保證溫度 環(huán)境溫度 18～23?C

溫度變化 0.5oC/1H 和 1oC/24H

LAF重復(fù)精度*4 ? σ≦0.8µm ? σ≦0.8µm ? σ≦0.8µm

工作臺(tái)玻璃尺寸 399×271mm 493×551mm 697×758mm

工件質(zhì)量*5 15kg 30kg 40kg

主機(jī)外形尺寸 859×951×1609mm 1027×1407×1778mm 1309×1985×1794mm

主機(jī)重量 (含設(shè)置臺(tái)) 360kg 579kg 1450kg

溫度補(bǔ)償功能 自動(dòng)溫度補(bǔ)償