基本原理

通常的被動減振體系如圖所示，由需要減振的裝置（mass M）和一個彈簧阻尼單元組成，它可以減小來自地板的高頻振動。但由于這種體系會在本征頻率時引起共振而增加振動，通常被動減振體系會設計成2 Hz 到5 Hz的本征頻率和1%到5%的輕微阻尼。主動減振體系是用一個調節(jié)器代替了粘滯阻尼器，根據sky-hook 阻尼控制理論，將減振裝置（mass M）速度的比例量作為反饋作用于減振裝置，這樣大大提高了減振的效果。

應用領域

? 掃描探針顯微技術（AFM, STM）

? 納米力學探針

? 掃描電子顯微技術（SEM, FE-SEM）

? 共聚焦顯微術

? 超高真空掃描隧道顯微術（UHV-STM）

? 激光掃描顯微鏡

? 液晶生產設備

? 半導體檢測儀器

? 膜片鉗 （Patch-Clamp）技術

? 光學輪廓儀

? 生命科學Screening stations

? 顯微硬度檢測儀

? 光學干涉儀

? 超微量天平