

Accurion可以為您在最核心的工藝上提供主動減振解決方案
從1996年成立到現(xiàn)在, Accurion持續(xù)地成長和穩(wěn)步擴展其產(chǎn)品,被用于許多超級微觀和納米技術(shù)領(lǐng)域。例如:在音響設(shè)備、生物學,材料科學,半導(dǎo)體領(lǐng)域中,LCD制造以及其它更多范圍。Accurion的研究、開發(fā)、制造、銷售、分銷、咨詢和服務(wù)都集中在德國Goettingen的總部,這樣Accurion
可以很好的關(guān)注和滿足用戶的特殊要求,在有著很好架構(gòu)的標準產(chǎn)品之外還可以提供給客戶特殊的產(chǎn)品和解決方案。
基本原理
通常的被動減振體系如圖所示,由需要減振的裝置(mass M)和一個彈簧阻尼單元組成,它可以減小來自地板的高頻振動。但由于這種體系會在本征頻率時引起共振而增加振動,通常被動減振體系會設(shè)計成2 Hz 到5 Hz的本征頻率和1%到5%的輕微阻尼。主動減振體系是用一個調(diào)節(jié)器代替了粘滯阻尼器,根據(jù)sky-hook 阻尼控制理論,將減振裝置(mass M)速度的比例量作為反饋作用于減振裝置,這樣大大提高了減振的效果。













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