軸式直線電機利用直接驅(qū)動技術，無需其他機械轉(zhuǎn)換元件即可線性轉(zhuǎn)動，能達到高速，零頓力與低速度波的特性，展現(xiàn)的動態(tài)性能，加工無磨耗，零背隙，維護簡單，相較于傳統(tǒng)機械式線性設備，有效提升產(chǎn)品并降低維護成本，滿足高精度定位控制與平穩(wěn)運動的應用，如高速輕負載自動化設備，無塵環(huán)境的自動化設備，光學檢測設備，醫(yī)療自動化等產(chǎn)業(yè)。
| 產(chǎn)品型號 | RU080Q55-50 | RU080Q55-100 | RU080Q55-150 | |
| 機械規(guī)格 | 安裝臺面尺寸 | 80X86mm | ||
| 行程 | 50mm | 100mm | 150mm | |
| 直線電機 | SL-080Q-L195-HA | |||
| 直線導軌 | MGN7C | |||
| 材質(zhì) | 鋁合金 | |||
| 加裝光柵尺 | 分辨率：10nm 50nm 0.1μm 0.5μm 1μm 5μm | |||
| 精度規(guī)格 | 終端臺面承載 | ＜2.5kg | ||
| 速度 | 30mm/sec | |||
| 分辨率 | 對應光柵分辨率：10nm 50nm 0.1μm 0.5μm 1μm 5μm | |||
| 反復定位精度 | ±0.5μm | |||
| 定位精度 | 1μm | |||
| 直線度 | 8μm/100mm | |||
| 端跳 | ≤5μm | |||
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