單晶爐的構成 提拉頭：主要由安裝盤減速機籽晶腔劃線環(huán)電機磁流體籽晶稱重頭軟波紋管等其他部件組成?副室：主要是副室筒以及上下法蘭組成?爐蓋：副室連接法蘭，翻板閥，觀察窗抽真空管道組成?爐筒：包括取光孔?下爐筒：包括抽真空管道?底座機架：全鑄鐵機架和底座?坩堝下傳動裝置：主要由磁流體電機坩堝支撐軸減速機軟波紋管立柱上下傳動支撐架導軌等部件組成?分水器已經(jīng)水路布置：包括分水器，進水水管，若干膠管水管卡套等?氬氣管道布置：質量流量計3根以上的柔性管不銹鋼管3個壓力探測器高密封性卡套等部件?真空泵已經(jīng)真空除塵裝置：油壓真空泵水環(huán)真空泵過濾器真空管道硬波紋管等?電源以及電控柜：電源柜濾波柜控制柜以及連接線
單晶爐是一種在惰性氣體環(huán)境中,用石墨加熱器將多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生長無錯位單晶的設備。
單晶爐是采用直拉法生產(chǎn)單晶硅的主要設備，全稱為單晶硅直拉法生產(chǎn)爐，簡稱為單晶爐，
單晶爐是一個極其復雜的機構，它不僅有加熱熔硅、保溫和恒溫、等速平穩(wěn)旋轉以及等速提拉的功能，而且還有控制單晶硅等徑生長、保證生產(chǎn)出的單晶硅不出現(xiàn)位錯缺陷以及良好的真空度和氬氣保護的功能。
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