經過過濾系統處理的廢氣通過收集管道，首入蓄熱室，蓄熱室內安裝的板片式陶瓷蓄熱體將貯存的熱能交換給廢氣，使待處理廢氣達到預熱溫度；經預熱后的廢氣進入氧化室，氧化室內安裝燃料（天然氣）燃燒器，將溫度升高至800℃以上，達到廢氣中各污染物的氧化溫度，使廢氣中的有機廢氣被氧化分解成CO₂和H₂O；

RTO（Regenerative Thermal Oxidizer，蓄熱式廢氣焚燒爐），主要包括蓄熱室、氧化室、風機、燃燒器、閥門、檢測報警儀表等，它通過蓄熱式內安裝的蜂窩陶瓷蓄熱體吸收廢氣在氧化室氧化產生的熱量，并利用這些熱量來預熱新進的廢氣，從而有效降低處理后廢氣的熱量排放，達到節約廢氣氧化升溫時的熱量損耗，使廢氣在高溫氧化過程中保持較高的熱效率（熱效率95%左右），其設備安全可靠、操作簡單、維護方便、VOCS凈化效率高等有點；另外利用RTO爐的高溫氣熱量由板式換熱器換熱后送入烘干室余熱回用，熱能回收率達95%以上，有效達到節能目的。

熱室C：有機廢氣經引風機進入蓄熱室C的陶瓷蓄熱體（陶瓷蓄熱體“貯存"了上一循環的熱量，處于高溫狀態），此時，陶瓷蓄熱體釋放熱量，溫度降低，而有機廢氣吸收熱量，溫度升高，廢氣經過蓄熱室C換熱后以較高的溫度進入氧化室。

氧化室：經過陶瓷蓄熱室C換熱后的有機廢氣以較高的溫度進入氧化室反應，使有機物氧化分解成無害的CO₂和H₂O，如廢氣的溫度未達到氧化溫度，則由燃燒器直接加熱補償至氧化溫度（如果廢氣濃度足夠高，氧化時可以不需要燃料加熱，靠有機物氧化分解放出的熱量便可以維持自然），氧化后的高溫氣體經過陶瓷蓄熱體A排出。