真空腔體

容量

150 l

內部尺寸

500 mm

高度

575 mm

Door Opening

W x H 500 x 575 mm

整機漏率

<1x10-5 mbar x l /s

最終壓力

<5x10-7 mbar

高真空泵組(標準型)

分子泵

Hipace 700

隔膜泵

MD4

旋片泵

DUO 20

真空測量

全量程真空計

電源

電壓

3 x 400 V

頻率

50/60 HZ

水冷

Chamber Usage approx (a)

500 l/h

Pump Set Usage approx (a)

15 l/h

進氣溫度

25 °C

壓力

4 – 6 bar

In- and Outlet Nipple

3/4"

Hot Water

Chamber Usage approx (a)

500 l/h

進氣溫度

70 °C

壓力

4 – 6 bar

In- and Outlet Nipple

3/8"

尺寸

占地面積

1.4 m²

L x W x H

1,4 x 1 x 1,9 m

重量

600 kg

環境溫度

40 °C