由于工業VOCs廢氣成分及性質的復雜性和單一治理的局限性，在很多情況下，采用單一技術往往難以達到治理要求，且不經濟。利用不同單元治理技術的優勢，采用組合治理工藝不僅可以滿足排放要求，同時可以降低凈化設備的運行費用。因此，近年來在有機廢氣治理中，采用兩種或多種凈化技術的組合工藝受到*大的重視，并得到迅速發展。

等離子體+光催化復合凈化技術：

等離子體-光催化復合凈化技術是近年來出現的一種的組合空氣凈化技術。等離子體場產生高能量活性離子，促進催化反應，減少能耗，光催化劑則進以促進 等離子體產生的副產物的氧化反應，且主導反應方向，讓反應具有選擇性，大大減少副產物。該技術被認為在處理VOCs 氮氧化物、機動車尾氣方面有著廣闊的發展前景。