寧波金領儀器設備有限公司
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分析從極小的 MEMS 傳感器到超大 XXL 晶圓，或甚至整塊平板顯微器，其間不會對樣品造成破壞。借助*大 300 mm 的橫向移動距離和*高 254 mm 的垂直深度，您可以在 Axio Imager Vario 下檢測大量樣品。一體化機柱設計確保了穩定性。在超凈室內檢測晶圓的應用中 – Axio Imager Vario 已通過 DIN EN ISO 14644-1 標準認證，并滿足潔超凈室等級 5 的要求。利用驅動 Z 軸的電動馬達與自動聚焦硬件確保自動調整至更佳聚焦位置。
大尺寸樣品正置式顯微鏡Axio Imager Vario特點：
兩種手動和一種電動機柱（配有符合工業標準的三個模式控制按鈕）可供選擇，充分 利用顯微鏡*大 300 mm 橫向與縱向移動距離和*高 254 mm 垂直深度的優勢。
Axio Imager Vario 能通過物鏡轉盤的上下移動來聚焦樣品。這就意味著，即便是較重的樣品，也可以獲得高精準聚焦精度和可重復性。
借助自動聚焦硬件，您可以精準快速地聚焦低對比度的反射樣品。
Axio Imager Vario 與 LSM 700 組合應用，以高分辨率無接觸地分析敏感樣品。
Axio Imager Vario 已通過 DIN EN ISO 14644-1 標準認證，并滿足潔超凈室等級 5 的要求。
晶圓
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