高純氣體露點變送器Pura

品牌：密析爾

產地：英國

高純氣體露點變送器Pura產品簡介

密析爾儀表目前向市場推出了簡單的、經濟的、相當有效的方案，用來在線測量露點值，下限低至驚人的-120℃ (相當于不到 1 ppbV)。

Pura露點變送器是基于密析爾儀表多年在阻抗露點傳感器生產和校驗的專業經驗，結合標準工業化的材料和制造流程，打造出的靠前適用于半導體制造行業和超純氣體應用場合，測量微量濕度水平的一體式變送器。

高純氣體露點變送器Pura產品特點

測量下限-120℃露點 (1 ppbV)

測量穩定，重復性好

高度集成的采樣裝置

模擬和數字輸出

安裝簡便，設計緊湊小巧

VCR過程接口

顯示/報警單元可選

高純氣體露點變送器Pura技術參數

傳感器類型：密析爾陶瓷濕度傳感器

量 程：-120 ~ -40°C 露點 (校驗到 -100 ~ -40°C)

精 度：±1°C -40 ~ -60°C;

±2°C -61 ~ -100°C;

±4°C -101 ~ -120°C (估算值)

分 辨 率：0.1°C -40 ~ -79.9°C;

1°C -80 ~ -100°C;

1 ~ 3°C -100 ~ -120°C

壓 力：*低 10-9 torr; *大 24 MPa

氣體流量：1 ~ 5 Nl/min

電 源：通常 24 V DC, *低10 V ~ *高28 V , *大電流 25 mA

輸 出：4-20 mA 輸出, 對應范圍可由專用軟件調整, 調整量程從 1 ~ 80°C (標配提供)

*大負載= 100Ω+ 50Ωx (V電源-8)

輸出出錯狀態：標準輸出出錯信息如下: 23mA=傳感器故障；20 mA=超上限；4 mA=超下限

傳感器套筒：不銹鋼， 0.1-0.2 Ra µm 電鍍內拋光

氣路連接端口：Premium 或 OEM 型：?" m VCR 接口

Pura Sensor 型：?" m VCR 接口

安裝配置：Premium或OEM 型：120.00mm 長，氣路端口的端面密封。無需預留管路空隙

底座上有2個M4 x 0.7， 7mm 深的安裝孔，斜對面橫豎間距均為 20 x 20mm

Pura Sensor 型：適用于用戶提供的 ?" VCR 端口中

尺 寸：Premium或OEM型：120 x 35 x 150mm

Pura Sensor 型：132 x 35mm

重 量：Premium或OEM型：450g

Pura Sensor 型：180g

包 裝：Pura：雙層包裝, 惰性氣體填充密封

Pura OEM 或 Pura Sensor 型：單層包裝

所有選配件：獨立包裝運輸

Sensor 型在傳感芯片端自帶保護套，用以運輸及操作