一、多晶硅清洗用超純水設(shè)備概述

　　多晶硅清洗用超純水設(shè)備以反滲透的出水水質(zhì)作為原水，EDI新技術(shù)可以替代傳統(tǒng)的離子交換裝置，可以連續(xù)生產(chǎn)出10-18 MΩ.cm的超純水。多晶硅清洗用超純水設(shè)備采用的連續(xù)電除鹽(EDI-Electro deionization)技術(shù)是水處理工業(yè)的一場(chǎng)成本革命，其特點(diǎn)是利用電而不是酸堿對(duì)樹脂進(jìn)行再生，所以非常經(jīng)濟(jì)實(shí)用，可以用有限的能源消耗獲得穩(wěn)定的純水。

　　二、多晶硅清洗用超純水設(shè)備優(yōu)點(diǎn)

　　產(chǎn)水水質(zhì)高而穩(wěn)定。

　　連續(xù)不間斷制水，不因再生而停機(jī)。

　　無(wú)需化學(xué)藥劑再生。

　　設(shè)想周到的堆疊式設(shè)計(jì)，占地面積小。

　　操作簡(jiǎn)單、安全。

　　運(yùn)行費(fèi)用及維修成本低。

　　無(wú)酸堿儲(chǔ)備及運(yùn)輸費(fèi)用。

　　全自動(dòng)運(yùn)行，無(wú)需專人看護(hù)。

　　三、多晶硅清洗用超純水設(shè)備應(yīng)用范圍

　　微電子行業(yè)：電解電容器生產(chǎn)、電子管生產(chǎn)、顯像管和陰極射線管生產(chǎn)、黑白顯像管熒光屏生產(chǎn)、液晶顯示器的生產(chǎn)、晶體管生產(chǎn)、集成電路生產(chǎn)、電子新材料生產(chǎn)。

　　醫(yī)藥行業(yè)：醫(yī)藥無(wú)菌水生產(chǎn)口服液生產(chǎn)。

　　化學(xué)化工：超純化學(xué)試劑生產(chǎn)化工新材料生產(chǎn)。

　　其它：貴金屬冶煉、磁性材料生產(chǎn)、電子級(jí)無(wú)塵布生產(chǎn)、光學(xué)材料生產(chǎn)等。

　　四、多晶硅清洗用超純水設(shè)備特點(diǎn)

　　為滿足用戶需要，達(dá)到符合標(biāo)準(zhǔn)的水質(zhì)，盡可能地減少各級(jí)的污染，延長(zhǎng)設(shè)備的使用壽命、降低操作人員的維護(hù)工作量.在工藝設(shè)計(jì)上，取達(dá)國(guó)家自來水標(biāo)準(zhǔn)的水為源水，再設(shè)有介質(zhì)過濾器，活性碳過濾器，鈉離子軟化器、精密過濾器等預(yù)處理系統(tǒng)、RO反滲透主機(jī)系統(tǒng)、離子交換混床(EDI電除鹽系統(tǒng))系統(tǒng)等。

　　系統(tǒng)中水箱均設(shè)有液位控制系統(tǒng)、水泵均設(shè)有壓力保護(hù)裝置、在線水質(zhì)檢測(cè)控制儀表、電氣采用PLC可編程控制器，真正做到了無(wú)人職守，同時(shí)在工藝選材上采用推薦和客戶要求相統(tǒng)一的方法，使設(shè)備與其它同類產(chǎn)品相比較，具有更高的性價(jià)比和設(shè)備可靠性。

　　五、多晶硅清洗用超純水設(shè)備典型工藝流程

　　預(yù)處理系統(tǒng)-反滲透系統(tǒng)-中間水箱-粗混合床-精混合床-純水箱-純水泵-紫外線殺菌器-拋光混床-精密過濾器-用水對(duì)象(≥18MΩ.CM)(傳統(tǒng)工藝)

　　預(yù)處理-反滲透-中間水箱-水泵-EDI裝置-純化水箱-純水泵-紫外線殺菌器-拋光混床-0.2或0.5μm精密過濾器-用水對(duì)象(≥18MΩ.CM)(新工藝)

　　預(yù)處理-一級(jí)反滲透-加藥機(jī)(PH調(diào)節(jié))-中間水箱-第二級(jí)反滲透(正電荷反滲膜)-純水箱-純水泵-EDI裝置-紫外線殺菌器-0.2或0.5μm精密過濾器-用水對(duì)象(≥17MΩ.CM)(新工藝)

　　預(yù)處理-反滲透-中間水箱-水泵-EDI裝置-純水箱-純水泵-紫外線殺菌器-0.2或0.5μm精密過濾器-用水對(duì)象(≥15MΩ.CM)(新工藝)

　　預(yù)處理系統(tǒng)-反滲透系統(tǒng)-中間水箱-純水泵-粗混合床-精混合床-紫外線殺菌器-精密過濾器-用水對(duì)象 (≥15MΩ.CM)(傳統(tǒng)工藝)

　　EDI技術(shù)是當(dāng)今的脫鹽技術(shù)。在電子、醫(yī)藥等行業(yè)水質(zhì)凈化、清洗、水質(zhì)純化以及廢水處理有著廣泛的應(yīng)用。例如，在電子工業(yè)方面，可以作為多晶硅清洗用超純水設(shè)備，與其它技術(shù)諸如電滲析、離子交換和蒸餾相比，具有能耗低、脫鹽率高、除菌能力強(qiáng)和操作簡(jiǎn)單、維護(hù)方便的特點(diǎn)，大大節(jié)省了運(yùn)行、維修成本。而且沒有廢水排放。反滲透和EDI技術(shù)，在當(dāng)今已涉足了生產(chǎn)的眾多領(lǐng)域。