激光微量位移測(cè)量?jī)x是采用邁克爾遜干涉儀技術(shù)的干涉位移傳感器,分辨率高達(dá)1皮米pm,實(shí)時(shí)位置測(cè)量時(shí)額目標(biāo)追蹤速度高達(dá)1米/秒。
激光微量位移測(cè)量?jī)x規(guī)格參數(shù)
工作原理:三通道邁克爾遜干涉儀
測(cè)量激光:1550nm DFB半導(dǎo)體激光,特殊穩(wěn)定技術(shù)
準(zhǔn)直激光:650nm半導(dǎo)體激光
分辨率:1pm
工作距離:500mm
目標(biāo)速度:1m/s
連接接口:USB和網(wǎng)口
數(shù)據(jù)速率 10MSa/s (480Mbit/s)
控制器模塊:9個(gè)數(shù)字輸入/輸出模塊



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